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腐蝕清洗設備系列 BE-AC10系列
    發布時(shí)間(jiān): 2021-05-02 23:11    

用于矽半導體(tǐ)MEMS工藝壓力傳感器(qì)矽杯的腐蝕與清洗工藝。




腐蝕清洗設備系列 BE-AC10系列

（1）應用場(chǎng)景：

用于矽半導體(tǐ)MEMS工藝壓力傳感器(qì)矽杯的腐蝕與清洗工藝。
（2）   主要特點：

  • ★設備由腐蝕和清洗兩部分(fēn)組成，包括設備主體(tǐ)、腐蝕槽、PID恒溫系統、PLC工控系統、清洗槽、兆聲清洗及快(kuài)排系統等部分(fēn)。

  • ★腐蝕液槽外循環，槽内均勻噴射的流體(tǐ)模式，腐蝕反應均勻性更好(hǎo)(hǎo)。

  • ★槽内直接測溫，直接加熱的方式，溫度反應更靈敏，腐蝕溫度更均勻。

  • ★自動程序噴淋清洗，兆聲助洗，矽片清洗效果更好(hǎo)(hǎo)

  • ★所有程序可設定運行，更精準，更可靠，更省時(shí)省力。

  • ★矽片尺寸可定制：3吋、4吋、5吋、6吋、8吋、10吋



（3）可根據用戶使用條件定制需要的規格，有關(guān)技術指标請索取産品詳細說(shuō)明。


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