2021年最新(xīn)盤點中國23條MEMS生(shēng)産線（信息全面！）
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作(zuò)者:beibo
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發布時(shí)間(jiān): 2021-10-09
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導讀：國内MEMS企業主要以Fabless玩(wán)家為(wèi)主，能(néng)夠自己擁有MEMS晶圓産線的IDM或代工玩(wán)家相對較少。本文搜集了(le)目前中國自有MEMS産線的企業或者機構信息，信息更新(xīn)時(shí)間(jiān)為(wèi)2021年8月(yuè)(yuè)，所有信息均來(lái)自企業公告、網絡公開信息源，如(rú)有錯誤歡迎留言指正。
PS：随文附帶國内MEMS第一(yī)股——敏芯股份，以及睿創微納、高德紅(hóng)外的企業研究報(bào)告，供參考閱讀。可在傳感器(qì)專家網公衆号後台回複關(guān)鍵詞【敏芯股份報(bào)告】、【睿創微納報(bào)告】、【高德紅(hóng)外報(bào)告】獲取。
賽微電子(zǐ)2015年在深交所創業闆上(shàng)市(shì)，重點發展MEMS工藝開發與晶圓制造業務(wù)，積極布局GaN材料與器(qì)件業務(wù)，目前的主要産品及業務(wù)包括MEMS芯片的工藝開發及晶圓制造、GaN外延材料生(shēng)長與器(qì)件設計。賽微電子(zǐ)在2016年全資收購(gòu)瑞典MEMS芯片制造商(shāng)SilexMicrosystemsAB，提供壓力、慣性、紅(hóng)外、微鏡、光開關(guān)、矽麥克風(fēng)等多種MEMS工藝開發及晶圓制造的服務(wù)。根據半導體(tǐ)市(shì)場(chǎng)研究機構Yole Development統計的2020年數據，Silex Microsystems AB 在全球MEMS純晶圓代工排名中位居第一(yī)，全球MEMS芯片代工市(shì)場(chǎng)（不包含IDM廠商(shāng)自身(shēn)制造部分(fēn)的統計）的占有率約為(wèi)8%。同年，引入戰略股東北京集成電路(lù)制造和裝備股權投資基金(jīn)，在北京啓動建設“8英寸MEMS國際代工線建設項目”。2021年6月(yuè)(yuè)北京8英寸MEMS産線（北京FAB3）一(yī)期建成生(shēng)産，目前處于産能(néng)爬坡階段，每月(yuè)(yuè)生(shēng)産5000片，預計到2021年底可生(shēng)産每月(yuè)(yuè)1萬片。FAB3二三期工程正在進行，全部投産後，預計FAB3總産能(néng)達3萬片每月(yuè)(yuè)。2、中芯集成電路(lù)制造（紹興）（代工）
2018年3月(yuè)(yuè)由中芯國際、紹興市(shì)政府、盛洋集團共同出資設立中芯集成電路(lù)制造（紹興）有限公司。同年5月(yuè)(yuè)，總投資58.8億元的中芯集成電路(lù)制造（紹興）項目開工奠基，該項目用地207.6畝，新(xīn)建14.65萬平米的廠房(fáng)，建設一(yī)條集成電路(lù)8寸芯片制造生(shēng)産線和一(yī)條模組封裝生(shēng)産線。中芯國際的MEMS方案主要集中在MEMS麥克風(fēng)、加速度計、陀螺儀、壓力、顯微鏡、超聲波傳感器(qì)、射頻器(qì)件。中芯集成一(yī)期規劃10萬片8英寸晶圓月(yuè)(yuè)産能(néng)。于2020年1月(yuè)(yuè)正式投産，5年内持續投資近60億人(rén)民(mín)币建設達産，形成芯片年出貨51萬片和模組年出貨19.95億顆的産業規模，規模化(huà)量産麥克風(fēng)、慣性、射頻、MOSFET以及IGBT等産品的芯片和模組，實現(xiàn)年銷售收入達40億人(rén)民(mín)币，稅收4.1億元，淨利2億元。2020年第四季度一(yī)期産能(néng)擴産至每月(yuè)(yuè)4萬片晶圓，近期其成功完成晶圓設備鏈調試，8英寸晶圓月(yuè)(yuè)産能(néng)增至7萬片，良品率達99%。3、上(shàng)海先進半導體(tǐ)（代工）
上(shàng)海先進半導體(tǐ)前身(shēn)是1988年中荷合資的上(shàng)海飛利浦半導體(tǐ)公司，經過多次改制後，2019年被上(shàng)海積塔半導體(tǐ)吸收合并，改制為(wèi)上(shàng)海先進半導體(tǐ)制造有限公司。先進半導體(tǐ)由傳統模拟芯片代工廠轉型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圓生(shēng)産線，MEMS生(shēng)産線可以代工的器(qì)件包括：三軸陀螺 儀、加速度計、生(shēng)物MEMS芯片、光學MEMS、RFMEMS、微流體(tǐ)開關(guān)、壓力傳感器(qì)等，可被廣泛應用于消費電子(zǐ)、醫(yī)療電子(zǐ)以及汽車電子(zǐ)等領域。目前，該MEMS生(shēng)産平台擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、矽片邊緣修整等設備，設計月(yuè)(yuè)産量可達3000片。
4、華潤微電子(zǐ)（IDM&代工）
華潤微電子(zǐ)是2002年華潤集團收購(gòu)華晶集團改組而成，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS産線是國内規模最大的與CMOS生(shēng)産線兼容的MEMS傳感器(qì)量産生(shēng)産線，具有國内領先水平的 MEMS 表面和體(tǐ)矽加工技術，用于制造壓力、矽麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器(qì)。華潤微電子(zǐ)8吋MEMS的3000片/月(yuè)(yuè)産能(néng)擴充已經完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平台從6英寸升級到8英寸，實現(xiàn)批量生(shēng)産，産品性能(néng)及良率水平優秀；整體(tǐ)提升了(le)其MEMS工藝技術水平和競争能(néng)力。5、華虹宏力（代工）
華虹由原上(shàng)海華虹NEC電子(zǐ)有限公司和上(shàng)海宏力半導體(tǐ)制造有限公司合并而成，自建設中國大陸第一(yī)條8英寸（200mm）集成電路(lù)生(shēng)産線起步，華虹宏力在上(shàng)海金(jīn)橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一(yī)廠、二廠及三廠），月(yuè)(yuè)産能(néng)約18萬片。在8英寸制造平台上(shàng)，華虹實現(xiàn)MEMS器(qì)件與标準CMOS工藝及生(shēng)産線的全兼容。已流片的産品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器(qì)等。浙江芯動科技有限公司位于浙江省嘉興市(shì)，是一(yī)家專注高端MEMS代工并擁有自主知識産權的生(shēng)産加工企業，是納傑微電子(zǐ)旗下(xià)公司。芯動科技擁有先進的6英寸MEMS芯片産業化(huà)生(shēng)産線，工藝能(néng)力涵蓋MEMS芯片生(shēng)産全過程，生(shēng)産壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生(shēng)物醫(yī)學等MEMS傳感器(qì)芯片産品。 芯動科技目前已投入1億多用于産線的建設，計劃聯合資本方在未來(lái)2-3年投入5億元人(rén)民(mín)币繼續完善制造基地的相關(guān)設備設施。該基地目前建築面積為(wèi)3000平方米，是中國最先進的MEMS器(qì)件加工平台之一(yī)，具備芯片制造、封裝測試等一(yī)系列的能(néng)力。7、睿創微納（IDM）
睿創微納總部位于山東煙(yān)台，是從事(shì)專用集成電路(lù)、紅(hóng)外熱像芯片及MEMS傳感器(qì)設計與制造的企業。睿創微納的8英寸MEMS晶圓生(shēng)産線由公司與代工廠共建，已量産，月(yuè)(yuè)産能(néng)1500片晶圓。2020年7月(yuè)(yuè)，與煙(yān)台開發區簽署協議(yì)，建設一(yī)條8英寸MEMS工藝線和一(yī)條化(huà)合物半導體(tǐ)工藝線。其中，化(huà)合物半導體(tǐ)芯片工藝線面向半導體(tǐ)激光器(qì)、光電探測器(qì)、微波器(qì)件以及功率器(qì)件；MEMS工藝線面向高端光學MEMS器(qì)件、RF MEMS器(qì)件和慣性MEMS傳感器(qì)等。8、罕王微電子(zǐ)（IDM&代工）
罕王微電子(zǐ)是一(yī)家以MEMS傳感器(qì)設計及制造生(shēng)産為(wèi)核心的高科技中美合資企業，總部位于遼甯省沈撫新(xīn)區，系罕王集團控股子(zǐ)公司。罕王微電子(zǐ)2016年收購(gòu)美信旗下(xià)MEMS傳感器(qì)業務(wù)，2018年建成國内首條8英寸純MEMS規模化(huà)量産線，工藝能(néng)力涵蓋MEMS芯片生(shēng)産全流程，設計晶圓産能(néng)36萬片/年。生(shēng)産傳感器(qì)包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器(qì)等。9、河(hé)北美泰（IDM）
中國電子(zǐ)科技集團第十三研究所全資子(zǐ)公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS标準加工技術及在高性能(néng)MEMS 器(qì)件中的應用”通過科技部組織的專家驗收。6英寸SOI MEMS标準工藝和封裝技術用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動傳感器(qì)、碰撞傳感器(qì)、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器(qì)等高性能(néng)MEMS器(qì)件的批量加工，美泰科技6英寸産線月(yuè)(yuè)産能(néng)達到1萬片。
10、廈門西(xī)人(rén)馬（IDM）
西(xī)人(rén)馬（FATRI）是一(yī)家芯片IDM公司，旗下(xià)西(xī)人(rén)馬聯合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西(xī)人(rén)馬MEMS高端傳感器(qì)和芯片制造基地，占地70畝，建築面積20000㎡，具有6000㎡的超淨車間(jiān)和先進微納米研究實驗室，配備8英寸向下(xià)兼容6英寸的MEMS智能(néng)傳感器(qì)芯片産線和中國先進的MEMS器(qì)件加工平台。西(xī)人(rén)馬19年11月(yuè)(yuè)獲得朗潤基金(jīn)數千萬A輪融資，20年一(yī)季度獲得A+輪的1億元人(rén)民(mín)币融資，今年3月(yuè)(yuè)獲B輪融資，發展迅速，西(xī)人(rén)馬已經成為(wèi)國内MEMS領域IDM芯片公司的鳌頭，紅(hóng)外和壓力傳感器(qì)每日産量可以達到幾十萬顆。11、廣州奧松電子(zǐ)（IDM&代工）
奧松電子(zǐ)成立于2003年，專注于MEMS半導體(tǐ)工藝技術，是國内率先應用MEMS半導體(tǐ)工藝技術生(shēng)産傳感器(qì)芯片的高新(xīn)技術企業，也(yě)是廣東省MEMS領域集研發、設計、制造、封裝測試、終端應用為(wèi)一(yī)體(tǐ)的MEMS智能(néng)傳感器(qì)全産業鏈（簡稱IDM）企業。2019年奧松電子(zǐ)斥巨資打造MEMS半導體(tǐ)芯片生(shēng)産線，一(yī)期工程淨化(huà)車間(jiān)總面積約2500平方米，配置濕法清洗區、百級潔淨度光刻區、千級潔淨度鍍膜區、千級潔淨度刻蝕區、千級潔淨度離子(zǐ)注入區及參觀通道等。2020年9月(yuè)(yuè)，廣州奧松電子(zǐ)有限公司6英寸MEMS半導體(tǐ)傳感器(qì)芯片生(shēng)産線正式投入運營，成功量産出溫濕度、流量、氣體(tǐ)、差壓、風(fēng)速等傳感器(qì)芯片。奧松電子(zǐ)MEMS半導體(tǐ)生(shēng)産線一(yī)期工程為(wèi)500納米MEMS半導體(tǐ)工藝制程，生(shēng)産設備約占整個(gè)投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程将建成350納米制程工藝MEMS半導體(tǐ)生(shēng)産線；2022年三期工程将建成180納米制程工藝MEMS半導體(tǐ)生(shēng)産線；總項目全部建成投産後，每月(yuè)(yuè)流片規模将達到4萬片，2021年8月(yuè)(yuè)，奧松電子(zǐ)官網宣布對外開放(fàng)MEMS芯片代工業務(wù)，包括設備共享、技術支持、企業孵化(huà)等服務(wù)。2021年4月(yuè)(yuè)奧松電子(zǐ)控股的全資子(zǐ)公司——奧松半導體(tǐ)（珠海）有限公司，将在珠海高新(xīn)技術産業開發區建設8英寸先進MEMS特色半導體(tǐ)IDM産業基地項目。該項目建成後，将成為(wèi)國内先進的MEMS芯片及智能(néng)傳感器(qì)産業集群，提高MEMS芯片的代工和量産能(néng)力。
12、諾思微系統（IDM）
諾思微系統位于天津，是一(yī)家無線設備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商(shāng)，其産品主要采用薄膜體(tǐ)聲波諧振器(qì)(FBAR)技術以及矽襯底的微機電系統(MEMS)制造技術，同時(shí)為(wèi)無線射頻濾波器(qì)、雙工器(qì)、和多工器(qì)等提供解決方案。 諾思微已投産一(yī)條6英寸MEMS晶圓生(shēng)産線和一(yī)條4英寸工藝研發線。廠房(fáng)和研發中心總占地面積2.7萬平方米。2021年3月(yuè)(yuè)，國家重點研發計劃“制造基礎技術與關(guān)鍵部件”重點專項項目“矽基MEMS壓電薄膜及器(qì)件關(guān)鍵技術與平台”的項目在諾思微系統啓動，針對5G/6G無線通訊、物聯網等對射頻濾波器(qì)、智能(néng)傳感器(qì)提出新(xīn)的技術要求，對實現(xiàn)晶圓級矽基MEMS壓電器(qì)件的大規模生(shēng)産、擺脫我國目前關(guān)鍵MEMS壓電器(qì)件受制于人(rén)的局面，有重要意義。2021年8月(yuè)(yuè)完成4億元融資，預計在一(yī)年内全面加速産能(néng)釋放(fàng)，達年産20億顆濾波器(qì)芯片的産能(néng)規模。
13、多維科技（IDM&代工）
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片産線。多維科技的磁傳感器(qì)晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓産線，提供完整的磁傳感器(qì)（AMR / GMR / TMR）開發及晶圓制造服務(wù)（包括設計、制造和測試），年産10億個(gè)TMR磁傳感器(qì)。2021年5月(yuè)(yuè)多維科技獲4億元融資，将用于對現(xiàn)有産線進行升級，能(néng)夠進一(yī)步強化(huà)“自研、自産、技術領先”的核心競争力。
2006年成立，總部在湖南(nán)浏陽。啓泰傳感以王國秋教授為(wèi)首的科研團隊攻克了(le)異質膜關(guān)鍵工藝與技術，建設國内第一(yī)條金(jīn)屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生(shēng)産線，是世界上(shàng)少數幾家具有金(jīn)屬濺射薄膜壓敏芯片規模化(huà)生(shēng)産能(néng)力的公司之一(yī)。
2019年8月(yuè)(yuè)該生(shēng)産線實現(xiàn)批量生(shēng)産，年産壓敏傳感芯片50萬顆，至2021年一(yī)期工程順利完工投産，用地面積35畝，建設總用地面積2萬多平米，傳感器(qì)芯片年生(shēng)産能(néng)力可達600萬顆，傳感器(qì)封裝200萬支，年産值可達10億元。二期項目正在進行，預計完工後，傳感器(qì)芯片産能(néng)将達2000萬顆，傳感器(qì)封裝1000萬支，年産值可達50億元。15、高德紅(hóng)外（IDM）
高德紅(hóng)外創立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批産型 MEMS 生(shēng)産線，是目前國内唯一(yī)一(yī)條自主可控且具備批産能(néng)力的非制冷紅(hóng)外焦平面探測器(qì)生(shēng)産線，已實現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低(dī)到高各類面陣規格産品型号批産能(néng)力。高德紅(hóng)外目前已擁有3條8英寸紅(hóng)外探測器(qì)産線，據2021年8月(yuè)(yuè)消息，年底将有新(xīn)産線投産，并提高3~4倍産能(néng)。
16、武漢衍熙微器(qì)件（IDM）
武漢衍熙微器(qì)件擁有全國第一(yī)條8寸體(tǐ)聲波（BAW）量産線，具有先進的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創新(xīn)自主開發的産品生(shēng)産流程。該産線主要産品有MEMS濾波器(qì)、雙工器(qì)等。2018年，武漢衍熙微器(qì)件進行項目擴建，一(yī)期為(wèi)租賃現(xiàn)有廠房(fáng)5600平方米，建設3600平方米的無塵室車間(jiān)；二期計劃建設約10000平方米的無塵室車間(jiān)，用于擴大生(shēng)産。杭州士蘭微1997年成立，是國内規模最大的集成電路(lù)芯片設計與制造一(yī)體(tǐ)（IDM）的企業之一(yī)。自2010年開始，士蘭微電子(zǐ)投入大量資金(jīn)，通過對加速度傳感器(qì)、地磁傳感器(qì)、壓力傳感器(qì)等一(yī)系列傳感器(qì)産品的開發，在6吋、8吋芯片生(shēng)産線上(shàng)實現(xiàn)了(le)批量制造能(néng)力，并建立自己的MEMS封測生(shēng)産線，初步走通了(le)系列傳感器(qì)的IDM發展之路(lù)，已申請相關(guān)發明專利百餘項。目前士蘭微MEMS傳感器(qì)産品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器(qì)、六軸慣性傳感器(qì)、高性能(néng)MEMS麥克風(fēng)、數字三合一(yī)傳感器(qì)、心率傳感器(qì)、高性能(néng)氣壓壓力傳感器(qì)等。2021年7月(yuè)(yuè)30日，士蘭微發出資産重組公告，引入國家集成電路(lù)産業投資基金(jīn)股份有限公司，募集11億元。
18、蘇州固锝（IDM）
蘇州固锝成立于1990年，是國内二極管龍頭企業，旗下(xià)子(zǐ)公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子(zǐ)等涉足MEMS傳感器(qì)IDM業務(wù)。2010年固锝收購(gòu)明銳光電，明銳光電主要從事(shì)MEMS-CMOS三維集成制造平台技術及八寸晶圓級封裝技術及産線和産品研發。
2011年成立明皜傳感，從事(shì)微機電傳感器(qì)芯片和器(qì)件的工藝開發、設計。2021年8月(yuè)(yuè)，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬元人(rén)民(mín)币增加至 7085.19 萬元人(rén)民(mín)币，增幅為(wèi) 9.96%。2012年成立艾特曼電子(zǐ)，主要從事(shì)晶圓級MEMS器(qì)件封裝工藝及相關(guān)核心技術的開發并提供代工服務(wù)，服務(wù)領域涵蓋消費類電子(zǐ)産品、汽車電子(zǐ)、工業控制、家電領域慣性傳感器(qì)（加速度計、陀螺儀）以及紅(hóng)外傳感器(qì)等。2021年6月(yuè)(yuè)，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導體(tǐ)，願景是将華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設計技術與蘇州固锝的封測技術及生(shēng)産經驗相結合，逐步實現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)在高端領域的進口替代。同月(yuè)(yuè)，華锝MEMS聲學傳感器(qì)及射頻濾波器(qì)封測項目落戶蘇州。項目一(yī)期産線将建立符合華為(wèi)體(tǐ)系标準的MEMS聲學傳感器(qì)的封測基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期将引入國内首創MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器(qì)的WLP晶圓級封裝産線，該晶圓級封裝為(wèi)芯片流片工藝最後一(yī)道關(guān)鍵工藝，華锝将擁有自主晶圓級封裝相關(guān)自主技術知識産權。
19、蘇州納米城（中試線）
蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發展有限公司（蘇州工業園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平台項目。蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線采用市(shì)場(chǎng)化(huà)、全開放(fàng)的運作(zuò)模式，主要開展MEMS産品工藝研發、MEMS加工、部分(fēn)封裝測試、專利運營、設備租賃、超淨場(chǎng)地租賃、工藝技術培訓等十多項專業服務(wù)，目前已成功導入壓力傳感器(qì)、微鏡傳感器(qì)、微流體(tǐ)傳感器(qì)等産品
20、淄博高新(xīn)區6英寸中試線
該産線由清華大學、淄博高新(xīn)區MEMS研究院和國高(淄博)微系統科技有限公司共同完成。是國内首條矽基4/6英寸兼容MEMS中試代工平台，超淨規模國内一(yī)流；配備了(le)國際一(yī)流設備的中試代工線，中試生(shēng)産能(néng)力可達月(yuè)(yuè)産傳感器(qì)十萬隻，産品的測試環境也(yě)居國内先進水平。2016年由中科院微電子(zǐ)所設立的MEMS研發平台，其8英寸MEMS中試線工藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化(huà)釩的紅(hóng)外圖像傳感器(qì)、醫(yī)用CT中X-ray探測、基于薄膜體(tǐ)聲波濾波器(qì)（FBAR）、MEMS紅(hóng)外探測器(qì)等産品。22、上(shàng)海微技術工研院（中試線）
2017年，上(shàng)海微技術工業研究院（以下(xià)簡稱“工研院”）構建的國内首條，全球領先，兼容CMOS的8英寸研發中試線正式投入運營，月(yuè)(yuè)産量将達到3000件。該産線部署了(le)MEMS、矽光子(zǐ)、RF、矽基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生(shēng)物等相關(guān)工藝和量測設備。作(zuò)為(wèi)國内第一(yī)條先進8英寸研發中試線，SITRI的8英寸研發中試線不僅可承擔産品研發、小批量生(shēng)産、技術培訓、設備驗證等服務(wù)，有助于提升研發的成功率。今年6月(yuè)(yuè)，上(shàng)海微技術工研院宣布将8英寸線每年四分(fēn)之一(yī)的總機時(shí)資助給上(shàng)海大學，用于微電子(zǐ)學院教學實踐，為(wèi)期5年。23、中科院上(shàng)海微系統所（研發平台）
中國科學院上(shàng)海微系統所現(xiàn)有的MEMS技術平台由微系統加工平台和微系統封裝平台兩部分(fēn)組成，分(fēn)别位于上(shàng)海微系統所漕河(hé)泾園區内主樓的一(yī)層和二層淨化(huà)間(jiān)内。整個(gè)平台擁有100多台套先進的大中型設備，總價值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器(qì)件測試、微系統集成等成套工藝，為(wèi)微系統研究提供有力的技術保障。
這(zhè)幾年爆發的中美貿易糾紛，以及新(xīn)冠疫情影響，讓深處電子(zǐ)行業的各家廠商(shāng)飽受半導體(tǐ)芯片技術“卡脖子(zǐ)”之苦，缺“芯”浪潮綿綿不絕。如(rú)果國産廠家擁有自主知識産權，那麽産能(néng)就(jiù)不會這(zhè)麽受制于人(rén)。随着國産精神的覺醒，大量資本的湧入，相信接下(xià)來(lái)中國MEMS産線将會越開越多！
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