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BP230系列特種矽壓阻壓力傳感器(qì)
    發布時(shí)間(jiān): 2023-10-07 11:15    

數字化(huà)系統協同設計、MEMS工藝制造


SiO2層絕緣隔離擴散矽敏感電橋

BP230系列特種矽壓阻壓力傳感器(qì)




特點:


·數字化(huà)系統協同設計、MEMS工藝制造


·SiO2層絕緣隔離擴散矽敏感電橋

·特殊功能(néng)結構和材料

·适應高寬工作(zuò)溫度範圍

·适應與矽、玻璃兼容的介質環境

·表壓、絕壓、差壓類型齊全


·覆蓋低(dī)、中、高寬壓力量程範圍

·小型化(huà)尺度适應發動機、風(fēng)洞絕緣氣、液體(tǐ)

  動态壓力的“原位”或“亞原位”測量



主要性能(néng)技術指标

序号

項目

規格指标

備注

1

特殊種類

耐高溫沖擊

耐腐蝕

探針型

扁平型


2

壓力類型

表壓、絕壓、

差壓



基準壓力量程

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa

1*


量程過載能(néng)力

2倍基準量程(10MPa); 1. 5倍基準量程(>10MPa); 1. 25倍基準量程(60MPa)

2*

3

橋路(lù)電阻

1~3kΩ

3~5kΩ


5

零點輸出

±5mV

3*

6

滿量程輸出

 50 mV(典型值)

3*

7

準确度

 ±0.25%FS (典型值± 0.5%FS(最大值)

3*4*

8

靈敏度對稱性

±0.3%FS(差壓)

4*


固有頻率

100kHz

10kHz

150kHz


9

工作(zuò)溫度範圍

-55℃+540℃

-55℃+180℃

-55℃+235℃

-55℃+273℃

5*1*

10

熱零點漂移

1.5%FS/55

5*6*

11

熱靈敏度漂移

  1.5%F.S /55℃

5*6*

12

短期穩定性

±0.03%FS/8h

3*

13

長期穩定

±0.1%FS/年


14

激勵電源

恒流1~1.5mA,或恒壓5V~10V


15

電氣連接形式

4纜線


16

典型接口尺寸

M5×0.8mm)

≤Φ20mm)

≤Φ2mm)

≤2 ×2、≤Φ3mm)

7*1*


 注:1*. 可用戶定制;                             2*. 100MPa量程過載為(wèi)本量程上(shàng)限;

        3*. 5VDC恒壓激勵,恒溫25℃;     4*. 非線性算(suàn)法為(wèi)最小二乘法;                    

             5*.外無源補償後的熱漂移;                 6*. 55℃溫區為(wèi)-30~25℃或25~80℃;


可提供定制服務(wù),如(rú)有需求請與營銷人(rén)員(yuán)聯系。







 


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