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BP210系列矽諧振壓力傳感器(qì)
    發布時(shí)間(jiān): 2023-10-07 11:15    

數字化(huà)系統協同設計、MEMS工藝制造
諧振工作(zuò)原理(lǐ)健壯、本征數字輸出信号



BP210系列矽諧振壓力傳感器(qì)



特點：


 ·數字化(huà)系統協同設計、MEMS工藝制造

 ·諧振工作(zuò)原理(lǐ)健壯、本征數字輸出信号

 ·振子(zǐ)真空微囊包裹結構、高Q值長期穩定

 ·差頻工作(zuò)模式、分(fēn)辨率和靈敏度高

 ·适于表壓、絕壓、差壓高精度測量

 ·覆蓋低(dī)、中、高寬壓力量程範圍


主要性能(néng)技術指标


序号

項目

規格指标

備注

1

壓力類型

表壓、差壓

絕壓

絕壓

基準壓力量程

0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa

1*

2

過載能(néng)力

≥3倍基準量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基準量程（≥60MPa）

1*


被測介質

與金(jīn)屬、單晶矽、玻璃兼容的非腐蝕性、絕緣氣體(tǐ)和液體(tǐ)


3

激勵電源

5～24 Vdc


4

準确度

≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS

2*、3*

5

工作(zuò)溫度範圍

-55～+125℃


6

補償溫度範圍

－55～＋85℃


7

典型工作(zuò)頻率

30～50kHz

2*

8

靈敏度

2～15Hz/hPa

2*

9

Q值

＞20000


10

長期穩定性

±0.02%FS/年

2*、

11

電流消耗

3.5mA


12

絕緣電阻

>100MW  

8*

13

電氣連接模式

接插件、多芯線纜


14

測量接口形式

螺紋、法蘭

6*

注：1*. 可用戶定制；

      2*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃； 

      3*.非線性數據計算(suàn)為(wèi)最小二乘法；

      4*. 100VDC。


可提供定制服務(wù)，如(rú)有需求請與營銷人(rén)員(yuán)聯系。

 


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