​​​​​​​​​​​​​​​​​​​沈陽北博電子(zǐ)科技有限公司

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BP130系列特種矽壓阻壓力敏感芯片
    發布時(shí)間(jiān): 2023-10-07 11:15    

數字化(huà)系統協同設計、MEMS工藝制造

SiO2層絕緣隔離擴散矽敏感電橋

BP130系列特種矽壓阻壓力敏感芯片

特點：


數字化(huà)系統協同設計、MEMS工藝制造

SiO2層絕緣隔離擴散矽敏感電橋

特殊功能(néng)結構和材料

适應高寬工作(zuò)溫度範圍

适應與矽、玻璃兼容的介質環境

表壓、絕壓、差壓類型齊全

覆蓋低(dī)、中、高寬壓力量程範圍


                       主要性能(néng)指标：


序号

項目

規格指标

備注

1

系列

耐高溫沖擊

貼片


2

類型

表壓、絕壓、差壓


     3

基準壓力量程

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa、100Mpa、200MP

100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa

1*

     4

量程過載能(néng)力

≥3倍基準量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準量程（≥60MPa）

2*

5

橋路(lù)電阻

3～5kΩ


6

零點輸出

≤ ±25mV

3*

7

滿量程輸出

≥20mV（20kPa、35kPa）；  ≥30 mV（20kPa、30kPa）；  ≥50 mV（其它基準量程）

3*

8

準确度

≤ ±0.2%FS （其它基準量程）；   ≤ ±0.25%FS （≤60kPa、≥60MPa、100MPa）

 ± 0.5%FS（≤10kPa）

3*、4*

9

靈敏度對稱性

≤ ±0.3%FS

4*

10

工作(zuò)溫度範圍

下(xià)限-55℃；上(shàng)限+540℃；

下(xià)限-55℃；上(shàng)限+230℃；


11

熱零點漂移

≤ 1%FS/℃（≤10kPa）；      ≤0.8%F.S /55℃（其它基準量程）

5*、6*

12

熱靈敏度漂移

≤2%FS/℃（≤10kPa）；       ≤ 1%F.S /55℃（其它基準量程）

5*、6*

13

短期穩定性

≤±0.03%FS/8h

3*

14

激勵電源

恒流0.5～1.5mA,或恒壓5V～10V


15

電橋連接形式

閉橋


16

芯片表面尺寸

≤3.5×2.7（mm）

≤1×1（mm），≤1,5 ×1.5（mm）

7*

 注：1*. 可定制中間(jiān)壓力量程；                             2*. 100MPa量程過載為(wèi)本量程上(shàng)限；

         3*. 5VDC恒壓激勵，恒溫25℃；                       4*. 非線性數據計算(suàn)為(wèi)最小二乘法；                    

                5*. 1mADC恒流激勵，恒溫25℃(可補償性)； 6*. 55℃溫區為(wèi)-30～25℃或25～80℃(可補償性)；

                7*. 矽片厚度c=500μm。


    可提供定制服務(wù)，如(rú)有需求請與營銷人(rén)員(yuán)聯系。


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